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JEOL JSM-6510扫描电子显微镜
仪器名称
扫描电子显微镜
仪器型号
JSM6510
制造厂商
日本电子
联系方式
4408809380
仪器所在地
春华南楼117A
技术参数
放大倍数
5-300，000倍
分辨率
高真空：3nm(30KV)/8nm(3KV)/15nm(1KV) 低真空:4.0nm(30KV)
电子枪
全自动，亦可手动调整
样品台
大全对中型X=80mm，Y=40mm，Z=5到48mm，倾斜：-10 - +90度，旋转：360度
灯丝
工厂预对中灯丝（钨）
图像模式
二次电子像，成份像，拓扑像，阴影像
加速电压
5-30KV
聚光镜
可变焦聚光镜
物镜
超级锥形物镜
物镜光阑
3档，X-Y可细调
电位移
±50微米
自动功能
聚焦，亮度，衬度，消像散
最大样品
直径：150mm
样品交换
抽拉式样品台
真空系统
全自动扩散泵DP。分子泵TMP（选购）
操作系统
Windows XP
安装要求
电源
单相，100V交流，50/60Hz，3.0KVA 稳压范围10%以内（压降3.0KVA3%以内）
地线
独立地线一条，小于等于100欧
温度
20土5℃
湿度
小于等于60%
交流磁场
小于等于0.3μT（50/60Hz正玄波，WD：15mm，Acc.V：30KV）
地面振动
大于5Hz正玄波 小于等于2μm（P-P）
占地
2000（W）*2500（D）*1800（H）mm
重量
325Kg（JSM-6510） 435Kg（JSM-6510LV）
门宽
850mm以上
应用范围：(1)三维形貌的观察和分析；
(2)在观察形貌的同时，进行微区的成分分析。
